① 해당 항목은 필수 옵션입니다.
② 해당 항목은 Standard 사양으로 기본 제작되며, 유선으로 요청주시면 옵션 변경 가능합니다.

Specification

Products Feature

UHP Springless Tied Diaphragm Low Pressure(1/4” 3/8” 1/2” 3/4”)

DRA300 시리즈는 초고순도 반도체 제조용 Gas Cabinet, 특수 가스 라인, Valve Manifold Boxes, 기타 연구실 등에 적합하도록 개발된 Springless, VCR type Pressure Reducing Regulator입니다.

★ Springless type: 기존방식의 스프링 대신 웨이브형상의 판 스프링(당사 특허#10-1191514)을 사용하여 장기간 사용시 누적피로로 인한 스프링의 이물질(particle) 발생 원인을 원천적으로 차단하여 초 고순도 및 청정을 요구하는 고객 및 환경에 더욱 적합한 제품입니다.
★ DRA300 시리즈는 모델에 따라 316L or 316L VIM+VAR(Double melt)를 사용하여 부식가스 사용 환경에 더욱 적합한 제품입니다.
★ 다이아후렘과 Material to Material Sealing이 되어 있고, 이물질 발생을 방지하기 위해 DI water 세정과 표면을 B.A. 25Ra~15Ra, E.P. 10Ra 또는 5Ra microinch등급으로 초 정밀 처리하였습니다.
★ 다이아후렘과 메인밸브를 연결시킨 Tied Type으로 밸브시트에 이물질이 형성되더라도 압력 누설이 되지 않도록 최고의 안전성을 고려하여 개발된 제품입니다.
★ 특히 독성 가스, 발화성 가스, 고부식성 가스 등으로 인해 다이아후렘이 파열되는 것으로부터 보호하는데 유용합니다.
★ 입구 압력은 3000psig (210bar) or 600psig (42bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psig (0.3bar)에서 최대 250psig (17bar)까지 사용할 수 있습니다.
★ 용접, 조립, 실험과 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 작업이 이루어집니다.

★ Springless type Regulator: By adopting the “flat- wave-shaped ring spring” (DRASTAR patent #10-1191514) instead of conventional spring, particle generation by spring itself due to fatigue from long-time use can be kept down
★ To use more suitably for corrosive gas applications, 316L VAR (double melt) available as optional
★ Tied-diaphragm design for positive shut-off and protecting the rupture of diaphragm
★ Surfaces finishes to B.A. 25Ra, E.P. 10 Ra or E.P. 5 Ra microinch
★ Push and lock type handle (DRASTAR patent #10-1086199) mounted
★ Threadless type: enhanced particle prevention by adopting the locking-plate seal system (DRASTAR patent #10-0753280)
★ All works of welding, assembly, test and cleaning are performed in class 100 and class 10 clean-rooms
★ Design proof pressure: 150% of maximum rated
★ Applicable for Semiconductor manufacturing gas line, toxic gases, pyrophoric gases, and high corrosive gases

※ 사용 중 가스라인이나 외부의 미세 진동 등으로 인하여 초기 압력 셋팅 값이 미세하게 변동하는 현상을 완전히 해결한 당사 Push and Lock 조절 손잡이 (당사 특허 # 10-1370537)를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 (lock) 압력 셋팅 값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 (unlock) 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.

FUNCTIONAL SCHEMATIC

INSTALLATION DIMENSIONS

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